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高纯气体的分离方法
日期:[2014-5-6 16:56:39]   共阅[1335]次
  高纯气体的分离方法一般包括精馏法、 吸附法、催化法及膜分离法等方法,下面主要介绍分离特种气体的精馏法、吸附法及膜分离法。
  高纯气体是电子工业,特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体,该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。高纯气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向,这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求,以实现气体的市场价值。在这三种分离技术中,精馏技术的操作比较复杂,目前精馏的汁算还处在半经验状态,但分离的气体产品的纯度能满足市场上各种气体的纯度要求;吸附分离技术还有待于吸附剂的发展;膜分离技术是最新的分离模式,它的发展很快,已经对精馏技术和吸附分离技术造成了不同程度的威胁。总之,这三种方法各有优缺点,适应不同的场合,满足不同的要求,为特种气体的分离做出各自的贡献。
  看了这么多,如果您还有什么疑问,敬请联系我们。我们是结合生产和技术一体化的专业高纯气体生产厂家。
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